Kvarts vaflu reinsibátur
Ein kvartsplátureinsibátur er eitt tól, sum verður nýtt til plátureinsing í hálvleiðaraframleiðslugongdini.
Tilfar: 99,99% kvarts
Lýsing
Andlitsbragd
- Høg hitamótstøða
- Tæringsmótstøða
- Slitmótstøða
- Lætt at reinsa
Nýtsla: burturbeina yvirflatudálkandi evni
Tryggja framleiðslugóðskuna av hálvleiðaraflísum.
Umsókn
1. For-Diffusiónsreingerð
Brúkt til at flyta plátur gjøgnum bleytar benk- ella immersiónsreinsistig (t.d. RCA-reinsing) til at burturbeina organisk, metallisk og partikludálkandi evni áðrenn diffusións- ella oxideringstilgongdir við høgum -hita.
2. Reingerð eftir-CMP (kemisk mekanisk planarisering)
Heldur plátur undir eftir-poleringsreinsingum fyri at burturbeina slørileivdir og yvirflatubrek, og tryggjar optimala flatleika til eftirfylgjandi litografistig.
3. Fremri-Endi-av-linju (FEOL) Framleiðsla
Nýtt í kritiskum FEOL reingerðarstigum, har ultra-reinar yvirflatur eru kravdar til gáttoxidvøkstur, epitaksiella útseting ella ion-ílegu.
4. Aftur-Enda-av-linju (BEOL) Viðgerð
Stuðlar plátum undir reingerð eftir-ets ella eftir-avseting fyri at burturbeina ljósmótstøðu, ets hjávørur og metallisk óreinindi eftir samskiftismynding.
5. Framkomin pakking
Lættar um reingerð á plátu-niveau áðrenn terningar ella liming í 2,5D/3D IC pakking, og tryggjar dálkingar-frí gjøgnumfør til álítandi samskifti.
6. Ljósframleiðsla
Brúkt í sólkyknuframleiðslu til at reinsa silikon undirlag, økja um yvirflatugóðskuna til betri ljósupptøku og orkuumleggingareffektivitet.
Ognir
|
Fysiskir eginleikar |
Virði |
|
Reinleiki |
＞99.99% |
|
Tættleiki |
2,2g/cm3 |
|
Gjøgnumskygni |
＞90% |
|
Mohs harðleiki |
5.5--6.5 |
|
Avformingarpunkt |
1280 stig |
|
Mýkingarpunkt |
1750 stig |
|
Gløðipunkt |
1250 stig |
|
Serligur hiti (20 - 350 stig ) |
670J/kg. stig |
|
Hitaleiðsla (20 stig ) |
1,4 V/m. stig |
|
Hitaleiðsla (v/mk,1000 stig) |
1.0-1.2 |
|
Brotið |
1.4585 |
|
Stuðul til hitaútbreiðslu |
5.510 -7cm/cm. stig |
|
Heitur - arbeiðshiti |
1750--2050 stig |
|
Stutt - tænastuhiti |
1450 stig |
|
Langt - tænastuhiti |
1100 stig |
|
Evnafrøðiligir eginleikar |
Virði |
|
Sýrumótstøðufør |
Sterk sýra (undantikið HF), Sterk alkali, organisk upploysing |
|
Høgur hiti Tæringsmótstøðuførur |
Frmúr |
|
Innihald av málmi óreinindi |
<5 ppm |
|
El-eginleikar |
Virði |
|
Mótstøða |
7107Ω.cm |
|
Bjálvingarstyrki |
250 ~ 400 kv/cm |
|
Dielektrisk konstanta |
3.7~3.9 |
|
Dielektriskur upptøkustuðul |
＜410-4 |
|
Dielektriskur tapstuðul |
＜110-4 |
|
Mekaniskir eginleikar |
Virði |
|
Trýststyrki |
1100 MPa |
|
Boygdarstyrki |
MPa |
|
Strekkstyrki |
MPa |
|
Poissons lutfall |
0.14~0.17 |
|
Youngs modul |
72000 MPa |
|
Skurðmodul |
31000 MPa |
Reingerðarhættir
Reingerð við vatni:
Set plátuna í reinsibátin, koyr síðani reinsibátin niður í reinsivætuna, og øk um sambandið millum reinsivætuna og plátuflata við at lyfta plátubátin fyri at betra um reinsivirknið.
Sproytureingerð:
Statt reinsibátin upprættur í sproytukamarinum, og brúka stútuna til at sproyta reinsivætuna á plátuflatanum fyri at taka dálkandi evni burtur. .
Týdningurin av at reinsa bátar:
- Tryggja plátureinføri: Ein rein plátuflata er avgerandi fyri framleiðslugóðskuna av hálvleiðaraflísum, og reinsibáturin hevur ein lívsneyðugan leiklut í reingerðartilgongdini.
- Tryggja álítandi hálvleiðaraflísar: Tryggja álítandi flísar og minka um vørubrek við at taka burtur yvirflatudálkandi evni.
- Betra um avkastið av hálvleiðaraflísum: Betra um reinførið á plátum, og harvið betra um avkastið av hálvleiðaraflísum.
Heit merki: kvarts wafer reingerðarbátur, Kina kvarts wafer reingerðarbátur framleiðarar, veitarar, verksmiðju
Send fyrispurning
Tú kanst eisini dáma
